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漏れ検査とは(ヘリウムリークテスト)

 
加圧容器のシール部や溶接部から空気が漏れないかを確認する検査。
 

ヘリウムとリークディテクタ(検査装置)を使って行う検査で、ヘリウムリークテストとも呼ばれます。

高精度でシール部や溶接部の微細な漏れも検出できます。

弊社では主に半導体メーカー様へ納入している製品に実施しています。

 

検査方法の例:真空吹き付け方法

1)リークディテクタを容器と接続し、容器内部を減圧する。

2)シール部や溶接個所にヘリウムを吹き付ける。

3)リークディテクタの値をチェックする。

 ※欠陥のある場合は欠陥部からヘリウムが容器内部に入り込むため、

  リークディテクタの値が大きく変化する。



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