クリーンルームとは

 
部屋の温度・湿度や空気中の目に見えないゴミなどを一定の基準に制御する部屋。
 

空気中の小さなほこりの付着も許されない半導体の製造や、

細菌の混入により実験の結果を左右してしまうような工程などをこの部屋で行うことで

安定した品質の製品の生産などを実現しています。

 

具体的には空気・人・ものの出入りを制御する仕組みを作り、基準を保っています。

・空気の出入り
HEPAフィルター(空気中のゴミを捕える高性能フィルター)を通じて外部から取り込む。

・人の出入り
タイベックスなど専用衣類に着替える・エアーシャワーを浴びるなど、体に付着したごみを持ち込むのを防止する。

・ものの出入り
二重ドア(パスボックス)・エアシャワーなど、外気を遮断する仕組みを搭載した受け渡し口のようなものを経由する。

 

クリーンルームの清浄度は、一定の体積中における塵埃の大きさとその数で示されます。

1㎥あたりの空気中に0.1μm以上の粒子がいくつあるかによってクラスが1~9に分けられ、

空気中の粒子が少ないほど、高グレードのクリーンルームです。

 



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